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導線在真空環境中的放氣特性分析

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發表于 2018-5-3 14:45:30 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
導線在真空環境中的放氣特性分析
陳蕾,肖梅,張曉兵,楊玲玲,吳曉斌,王魁波,羅艷
1. 東南大學電子科學與工程學院顯示中心,南京210096;
2. 中國科學院光電研究院,北京100000
THE OUTGASSING CHARACTERISTICS ANALYSIS OF THE WIRE IN THE VACUUM ENVIRONMENT
CHEN Lei,XIAO Mei,ZHANG Xiao-bing,YANG Ling-ling,WU Xiao-bin,WANG Kui-bo,LUO Yan
1. Display Centre,School of Electronic Science and Engineering,Southeast University,Nanjing 210096,China;
2. Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100000,China

摘要 材料放氣特性對分析真空中殘余氣體成分有重要影響。主要研究常用導線絕緣層聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯這兩種材料在真空環境中的放氣特性。采用小孔流導法初步測量了樣品在常溫、加熱以及冷卻條件下的放氣率,利用四極質譜計測量了樣品在不同溫度條件下的放氣質譜圖。結果表明這兩種材料在加熱過程中的放氣率先增大后減小,并隨著抽氣不斷減小,在加熱過程中的譜圖中檢測到質量數為69 的氣體,說明放出的氣體成分含氟。

關鍵詞 : 導線,  材料放氣率,  小孔流導法,  四極質譜法   

Abstract:The outgassing characteristics of material is an important parameter for choosing materials in a vacuum system. In this paper,we will research the outgassing characteristics of two materials in a vacuum environment. We use the hole conductance method to measure outgassing rates of the samples at room temperature,baking temperature and after cooling conditions. At the same time,the quadrupole mass spectrometer is used to measure the mass spectrum of the samples at different conditions. The results show that the outgassing rate of the two materials will increase followed by decrease when they are baked,and decrease when pumped. Meanwhile,the mass number 69 is detected in the barking progress,which means that FEP and PFA can release gas containing fluoride.

Key words: wire           the outgassing rate of materials           orifice conductance method           the quadrupole mass spectrometer

作者簡介: 陳蕾(1990-),女,江蘇揚州人,碩士研究生,從事熱解吸質譜法分析表面污染物研究。

引用本文: 陳蕾,肖梅,張曉兵,楊玲玲,吳曉斌,王魁波,羅艷. 導線在真空環境中的放氣特性分析[J]. 真空與低溫, 2016, 22(2): 100-103.       
CHEN Lei,XIAO Mei,ZHANG Xiao-bing,YANG Ling-ling,WU Xiao-bin,WANG Kui-bo,LUO Yan. THE OUTGASSING CHARACTERISTICS ANALYSIS OF THE WIRE IN THE VACUUM ENVIRONMENT. journal1, 2016, 22(2): 100-103.

文章來源:《真空與低溫》雜志2016年22卷2期

刊出日期:2016-04-30

鏈接地址:http://www.lipcast.cn:81/zkydw/CN/abstract/abstract80.shtml


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